1. ຄຳນິຍາມຂອງລະບົບອາຍແກັສຈຳນວນຫຼາຍ:
ການເກັບຮັກສາ ແລະ ການຄວບຄຸມຄວາມດັນຂອງອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ ປະເພດອາຍແກັສ: ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທົ່ວໄປ (ໄນໂຕຣເຈນ, ອາກອນ, ອາກາດບີບອັດ, ແລະອື່ນໆ)
ຂະໜາດທໍ່ສົ່ງ: ຈາກ 1/4 (ທໍ່ສົ່ງຕິດຕາມກວດກາ) ເຖິງທໍ່ສົ່ງຫຼັກ 12 ນິ້ວ
ຜະລິດຕະພັນຫຼັກຂອງລະບົບແມ່ນ: ວາວໄດອາຟຣາມ/ວາວເບລໂລ/ວາວບານ, ຕົວເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (VCR, ຮູບແບບການເຊື່ອມ), ຕົວເຊື່ອມຕໍ່ເຟີຣູລ, ວາວຄວບຄຸມຄວາມດັນ, ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມດັນ, ແລະອື່ນໆ.
ປັດຈຸບັນ, ລະບົບໃໝ່ຍັງປະກອບມີລະບົບອາຍແກັສພິເສດແບບຂະໜາດໃຫຍ່, ເຊິ່ງໃຊ້ຖັງອາຍແກັສຄົງທີ່ ຫຼື ລົດບັນທຸກຖັງສຳລັບການເກັບຮັກສາ ແລະ ການຂົນສົ່ງ.
2. ຄຳນິຍາມຂອງລະບົບການກັ່ນຕອງ:
ການກຳຈັດສິ່ງເຈືອປົນອອກຈາກອາຍແກັສຈຳນວນຫຼາຍສຳລັບທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ
3. ຄຳນິຍາມຂອງຕູ້ແກັສ:
ໃຫ້ການຄວບຄຸມຄວາມດັນ ແລະ ການຕິດຕາມການໄຫຼສຳລັບແຫຼ່ງອາຍແກັສພິເສດ (ອາຍແກັສທີ່ເປັນພິດ, ອາຍແກັສໄວໄຟ, ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ), ແລະ ມີຄວາມສາມາດໃນການປ່ຽນຖັງອາຍແກັສ.
ສະຖານທີ່: ຕັ້ງຢູ່ເທິງຊັ້ນ Sub-fab ຫຼື ຊັ້ນລຸ່ມສຸດສຳລັບເກັບຮັກສາອາຍແກັສພິເສດ ແຫຼ່ງທີ່ມາ: NF3, SF6, WF6, ແລະອື່ນໆ.
ຂະໜາດທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສ: ທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສພາຍໃນ, ໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນ 1/4 ນິ້ວສຳລັບທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສຂະບວນການ, 1/4-3/8 ນິ້ວສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນສຳລັບທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.
ຜະລິດຕະພັນຫຼັກ: ວາວໄດອາຟຣາມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ວາວກວດສອບ, ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມດັນ, ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມດັນ, ຕົວເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (VCR, ຮູບແບບການເຊື່ອມ) ຕູ້ອາຍແກັສເຫຼົ່ານີ້ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວມີຄວາມສາມາດໃນການສະຫຼັບອັດຕະໂນມັດສຳລັບກະບອກສູບເພື່ອຮັບປະກັນການສະໜອງອາຍແກັສຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ການທົດແທນກະບອກສູບຢ່າງປອດໄພ.
4. ຄຳນິຍາມການແຈກຢາຍ:
ການເຊື່ອມຕໍ່ແຫຼ່ງອາຍແກັສກັບຂົດລວດເກັບອາຍແກັສ
ຂະໜາດສາຍ: ໃນໂຮງງານຜະລິດຊິບ, ຂະໜາດຂອງທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສຂະໜາດໃຫຍ່ໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນມີຂະໜາດຕັ້ງແຕ່ 1/2 ນິ້ວ ຫາ 2 ນິ້ວ.
ຮູບແບບການເຊື່ອມຕໍ່: ທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສພິເສດໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນເຊື່ອມຕໍ່ໂດຍການເຊື່ອມ, ໂດຍບໍ່ມີການເຊື່ອມຕໍ່ກົນຈັກ ຫຼື ຊິ້ນສ່ວນທີ່ເຄື່ອນທີ່ອື່ນໆ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຍ້ອນວ່າການເຊື່ອມຕໍ່ການເຊື່ອມມີຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນການຜະນຶກທີ່ເຂັ້ມແຂງ.
ໃນໂຮງງານຜະລິດຊິບ, ມີທໍ່ຍາວຫຼາຍຮ້ອຍກິໂລແມັດທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ກັບອາຍແກັສສົ່ງຕໍ່, ເຊິ່ງໂດຍພື້ນຖານແລ້ວຍາວປະມານ 20 ຟຸດ ແລະ ເຊື່ອມເຂົ້າກັນ. ການໂຄ້ງທໍ່ບາງອັນ ແລະ ການເຊື່ອມຕໍ່ການເຊື່ອມທໍ່ກໍ່ເປັນເລື່ອງທຳມະດາຫຼາຍ.
5. ກ່ອງວາວຫຼາຍໜ້າທີ່ (ກ່ອງທໍ່ສົ່ງວາວ, VMB) ຄຳນິຍາມ:
ມັນແມ່ນເພື່ອແຈກຢາຍອາຍແກັສພິເສດຈາກແຫຼ່ງອາຍແກັສໄປຫາອຸປະກອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ຂະໜາດທໍ່ສົ່ງພາຍໃນ: ທໍ່ສົ່ງຂະບວນການຂະໜາດ 1/4 ນິ້ວ, ແລະ ທໍ່ສົ່ງການລະບາຍຂະໜາດ 1/4 - 3/8 ນິ້ວ. ລະບົບອາດຈະໃຊ້ການຄວບຄຸມດ້ວຍຄອມພິວເຕີເພື່ອຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີວາວທີ່ກະຕຸ້ນ ຫຼື ສະຖານະການທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ຳກວ່າດ້ວຍວາວຄູ່ມື.
ຜະລິດຕະພັນລະບົບ: ວາວໄດອາຟຣາມຄວາມບໍລິສຸດສູງ/ວາວເບລໂລ, ວາວກວດສອບ, ຂໍ້ຕໍ່ຄວາມບໍລິສຸດສູງ (VCR, ຮູບແບບການເຊື່ອມໂລຫະຈຸນລະພາກ), ວາວຄວບຄຸມຄວາມດັນ, ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມດັນ ແລະ ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມດັນ, ແລະອື່ນໆ. ສຳລັບການແຈກຢາຍອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາບາງຊະນິດ, ແຜງທໍ່ສົ່ງວາວ - VMP (ແຜ່ນວາວຫຼາຍໜ້າທີ່) ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້, ເຊິ່ງມີໜ້າດິນແຜ່ນອາຍແກັສເປີດ ແລະ ບໍ່ຕ້ອງການການອອກແບບພື້ນທີ່ປິດ ແລະ ການລະບາຍໄນໂຕຣເຈນເພີ່ມເຕີມ.
6. ຄຳນິຍາມຂອງແຜ່ນ/ກ່ອງວາວສຳຮອງ (ແຜງເຊື່ອມຕໍ່ເຄື່ອງມື):
ເຊື່ອມຕໍ່ອາຍແກັສທີ່ຕ້ອງການໂດຍອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳຈາກແຫຼ່ງອາຍແກັສໄປຫາປາຍອຸປະກອນ ແລະ ໃຫ້ການຄວບຄຸມຄວາມກົດດັນທີ່ສອດຄ້ອງກັນ. ແຜງນີ້ແມ່ນລະບົບຄວບຄຸມອາຍແກັສທີ່ຢູ່ໃກ້ກັບປາຍອຸປະກອນຫຼາຍກວ່າ VMB (ກ່ອງວາວຫຼາຍໜ້າທີ່).
ຂະໜາດທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສ: 1/4 - 3/8 ນິ້ວ
ຂະໜາດທໍ່ສົ່ງຂອງແຫຼວ: 1/2 - 1 ນິ້ວ
ຂະໜາດທໍ່ລະບາຍນ້ຳ: 1/2 - 1 ນິ້ວ
ຜະລິດຕະພັນຫຼັກ: ວາວກະບັງລົມ/ວາວເບລໂລ, ວາວທາງດຽວ, ວາວຄວບຄຸມຄວາມດັນ, ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມດັນ, ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມດັນ, ຂໍ້ຕໍ່ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (VCR, ການເຊື່ອມໂລຫະແບບຈຸນລະພາກ), ຂໍ້ຕໍ່ປອກໂລຫະ, ວາວບານ, ທໍ່, ແລະອື່ນໆ.
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 22 ພະຈິກ 2024
